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ポーラスカーボンパッド 仕様実例

半導体ウエハー、液晶ガラス、高機能フィルム、メディアディスクの全面精密吸着固定に使用されています。ほかにも精密平面の多孔質体による全面精密吸着固定が求められる用途に有効です。

●オールカーボンタイプ(軽量化・静電対策・高温環境)

オールカーボンタイプ(軽量化・静電対策・高温環境)

導通性があり、静電対策になります。
高温環境下での使用が可能で、急激な高温変化にも対応可能です。
φ300で1キログラム未満の軽量タイプも製作可能です。
(熱ムラが極めて少なくなっています。)
使用用途…スピン洗浄・スピンコーター・BG工程・ダイシング工程

●大型ハニカムタイプ(大型軽量化タイプ)

大型ハニカムタイプ(大型軽量化タイプ)

大型のガラス基板やフィルムのための吸着タイプです。
石定盤などと比べて格段に軽量化をしています。(石定盤の1/5、鋳鉄定盤の1/10)
多孔質体なので、ワークに孔跡が転写することもありません。
軽量でありながら、多孔質体による全面吸着を大面積で実現したタイプの製品です。
仕様用途…各種大型ワークの吸着
LCD、PDPマザーガラス、保護フィルムの検査装置、ターンオーバー装置などの吸着固定

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